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　　金融界 2025 年 1 月 23 日消息ღღღ，国家知识产权局信息显示ღღღ，中芯集成电路（宁波）有限公司申请一项名为“MEMS 器件功能层制备方法及 MEMS 器件”的专利必发bifa官方网站积体电路ღღღ。ღღღ，公开号 CN 119330299 Aღღღ，申请日期为 2024 年 10 月ღღღ。

　　专利摘要显示ღღღ，本发明公开一种 MEMS 器件功能层制备方法及 MEMS 器件ღღღ，该方法ღღღ，包括ღღღ：提供第一衬底ღღღ，第一衬底具有相对的正面和背面ღღღ；刻蚀第一衬底的正面黄瓜苹果官方二维码bifaღღღ，在第一衬底的正面形成 cavityღღღ；提供第二衬底ღღღ，第二衬底具有相对正面和背面ღღღ；在第二衬底正面形成刻蚀停止层ღღღ；将第二衬底的正面与第一衬底的正面键合黄瓜苹果官方二维码bifa必发官方网站ღღღ，使刻蚀停止层封闭 cavityღღღ；对第二衬底的背面进行减薄处理ღღღ；对第二衬底的背面进行深槽刻蚀ღღღ，停止在刻蚀停止层黄瓜苹果官方二维码ღღღ，以在 cavity 的上方形成可动功能层图形ღღღ；去除可动功能层图形与 cavity 之间的刻蚀停止层ღღღ。本发明可提高 MEMS 器件空腔结构上功能层图形的完整性ღღღ。

　　天眼查资料显示ღღღ，中芯集成电路（宁波）有限公司ღღღ，成立于2016年黄瓜苹果官方二维码ღღღ，位于宁波市ღღღ，是一家以从事计算机黄瓜苹果官方二维码ღღღ、通信和其他电子设备制造业为主的企业bifa必发官方网站ღღღ。企业注册资本473304.347718万人民币ღღღ，实缴资本473304.347718万人民币ღღღ。通过天眼查大数据分析黄瓜苹果官方二维码bifa必发官方网站bifa必发官方网站ღღღ，中芯集成电路（宁波）有限公司参与招投标项目34次bifa必发官方网站ღღღ，知识产权方面有商标信息67条bifa必发官方网站ღღღ，专利信息429条ღღღ，此外企业还拥有行政许可13个bifa必发官方网站ღღღ。